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SUN-100P系列是非化學(xué)放大型i-線正性光刻膠，其特點是高解析度，可以達到0.35微米HP。這個系列的產(chǎn)品傳承了星泰克光刻膠的粘附性基因，大部分情形下無需HMDS處理基底。SUN-100系列特別適應(yīng)于高解析度干法刻蝕工藝。